通道构成

标准25ch（最多至150ch）

标准25ch（最多至150ch）

控制方式

5ch

25ch

5ch

25ch

5ch

25ch

系统

windows 7

windows 7

测量性能

偏置电压

偏置电压

无加载、1.0～100V DC

无加载、1.0～300V DC

无加载、1.0～500V DC

最小分辨率

0.1V
（1.0～100V，可与测量电压分开设定）

0.1V（设定为1～200V时）
1.0V（设定为200～300V时）

0.1V（设定为1～200V时）
1.0V（设定为200～500V时）

加载电压精度

±（设定值的0.7%+300mV）

±（设定值的0.7%+300mV）

电阻判定及测量时间

直流电流测量范围※1

0.1fA～20mA（最高分辨率：0.1fA）

0.1fA～20mA（最高分辨率：0.1fA）※2

电阻测量范围（Ω）

2.0×10⁵～1.0×10¹³（加载100V时）
2.0×10³～1.0×10¹¹（加载1V时）

2.0×10⁵～1.0×10¹³（加载300V时）
2.0×10³～1.0×10¹¹（加载1V时）

2.0×10⁵～1.0×10¹³（加载500V时）
2.0×10³～1.0×10¹¹（加载1V时）

测量精度※1

±1.015%（20pA量程、全量程）

±1.015%（20pA量程、全量程）

测量电压

1.0～100V DC（0.1V/步）

1.0～300V DC
（1.0～200V：0.1V/步）
（200～300V：1.0V/步）

1.0～500V DC
（1.0～200V：0.1V/步）
（200～500V：1.0V/步）

测量时间（1次）※3

15秒+充电时间

80秒+充电时间

15秒+充电时间

80秒+充电时间

15秒+充电时间

80秒+充电时间

漏电流测出功能

不间断，100μsec以内测出

不间断，100μsec以内测出

测量电缆

种类

 +极

单芯电缆

耐热单芯电缆

 -极

同轴电缆（防护结构）

同轴电缆（防护结构）

包覆材质

特氟隆（耐热+150℃）

特氟隆（耐热+150℃）

长度

扫描单元至中转连接器：2.5m
中转连接器开始：1.5m

扫描单元至中转连接器：2.5m
中转连接器开始：1.5m

中转连接器

可连接25通道
同轴连接器

可连接25通道
+极：金属插座   -极：方型同轴连接器

测量仪表

型号：6514
（吉利时仪器公司制造）

型号：6514
（吉利时仪器公司制造）

外尺寸

W530×H1750×D940mm

W530×H1750×D940mm

电源

100V AC,1φ10.A
120V AC,1φ8.3A
220V AC,1φ4.5A
240V AC,1φ4.2A

100V AC,1φ10.A
120V AC,1φ8.3A
220V AC,1φ4.5A
240V AC,1φ4.2A

※1 显示的是测量仪表的测量精度及直流电流测量范围。系统的测量精度请参考精度分布图。

※2 高电压偏置用中转连接器内，在每个通道的正电压加载侧串连了1KΩ的电阻，电流流过试样损失会造成的电压稍许下降。

    此微小电压下降没有包含在加载电压精度中。

※3 偏置电压与测量电压相同时，则充电时间为零。